中国国家电子级超纯水GB/TII446.1－1997标准，电子级超纯水制取设备可以了解深圳市诺顿环保科技有限公司最新研发设备，其实超纯水设备系统专业制作厂家
指标\级别 |
EW－Ⅰ |
EW－Ⅱ |
EW－Ⅲ |
EW-Ⅳ |
电阻率 MΩ，cm(25℃) |
18以上，（95％时间）不低于17 |
15，（95％时间）不低于13 |
12.0 |
0.5 |
全硅，最大值,μg/L |
2 |
10 |
50 |
1000 |
＞1μm微粒数，最大值，个/mL |
0.1 |
5 |
10 |
500 |
细菌个数，最大值，个/mL |
0.01 |
0.1 |
10 |
100 |
铜，最大值，μg/L |
0.2 |
1 |
2 |
500 |
锌，最大值，μg/L |
0.2 |
1 |
5 |
500 |
镍，最大值，μg/L |
0.1 |
1 |
2 |
500 |
钠，最大值，μg/L |
0.5 |
2 |
5 |
1000 |
钾，最大值，μg/L |
0.5 |
2 |
5 |
500 |
氯，最大值，μg/L |
1 |
1 |
10 |
1000 |
硝酸根，最大值，μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
磷酸根，最大值，μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
硫酸根，最大值，μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
总有机酸，最大值，μg/L |
20 |
100 |
200 |
1000 |
